Silicon Structural Wafer

Silicon Structural Wafer

Tämä rakenteellinen piikiekkosarja on suunniteltu tarjoamaan tinkimätön mekaaninen perusta monimutkaisille laitearkkitehtuureille. Optimoitu koko teolliseen valikoimaan alkaen2 tuumaa (50 mm) 12 tuumaan (300 mm)Nämä substraatit toimivat korkean{0}}tarkkuuden isäntänä, joka on suunniteltu vähentämään fyysistä vääristymistä ja ylläpitämään absoluuttista geometrista koherenssia vaativimmissakin valmistusympäristöissä.

Erinomainen muodonmuutoskestävyys:Kiekko on suunniteltu kestämään elastisia ja plastisia muodonmuutoksia nopean{0}}robotin käsittelyn ja tarkan tyhjiöistukkauksen aikana. Tämä rakenteellinen jäykkyys varmistaa, että kriittiset mitat pysyvät ennallaan, mikä estää mikro-vääristymisen, joka voi johtaa litografiseen kohdistusvirheeseen tai liimausvirheisiin.

Termomekaaninen vakaus:Suunniteltu kestämään rankaisemistalämpöbudjetit, materiaali säilyttää muotonsa ja tasaisuutensa toistuvien korkean lämpötilan -hapetuksen ja nopean lämpöhehkutuksen (RTA) kautta. Minimoimalla hilan liukumisen ja lämpö-indusoidun jännityksen substraatti tukee vakaata tuotantoaVirtapiirit (IGBT/MOSFET) ja MEMSlaitteita.

Tasainen geometrinen tarkkuus:Järjestelmällinen valvontammeKokonaispaksuuden vaihtelu (TTV)ja keula/loimiparametrit varmistavat, että jokainen erä tuottaa ennustettavan rakenteellisen käyttäytymisen. Tämä johdonmukaisuus mahdollistaa laajemman prosessiikkunan kemiallisen-mekaanisen planarisoinnin (CMP) ja kuivaetsauksen aikana, mikä korreloi suoraan kestävämmänkiekon -tason tuotto (WLY)teollisuus{0}}elektroniikkaan.

Suositut Tagit: piirakenteinen kiekko, Kiina piirakennekiekkojen valmistajat, toimittajat, tehdas