Precision Silicon Disc

Precision Silicon Disc

Tämä tarkkuuspiilevysarja on huolellisesti suunniteltu tarjoamaanerinomainen mittojen hallinta, joka toimii luotettavana-perustana edistyneelle mikro-valmistukselle. Tukee koko teollista kirjoa2 tuumaa (50 mm) 12 tuumaan (300 mm), nämä levyt on suunniteltu säilyttämään absoluuttinen geometrinen eheys nykyaikaisen puolijohdevalmistuksen monimutkaisissa lämpö- ja kemiallisissa sykleissä.

Optimoitu geometrinen vakaus:Thetarkka geometriaJokaisen levyn äärimmäisen-toleranssit säätelevät kokonaispaksuuden vaihtelua (TTV), loimia ja keulaa. Tämä rakenteellinen vakausparantaa käsittelyn vakautta, erityisesti nopean -kemiallisen-mekaanisen planarisoinnin (CMP) ja nopean lämpökäsittelyn (RTP) aikana, joissa pienetkin vaihtelut voivat vaarantaa kriittisten kerrosten tasaisuuden.

Parannettu litografinen kohdistus:Levy on suunniteltuvähentää kohdistusvirheitä käsittelyn aikanatarjoamalla erittäin tasaisen aloituspinnan. Tämä tarkkuus varmistaa, että globaalit ja paikalliset kohdistusmerkit pysyvät korkearesoluutioisten{1}}skannerien sieppausalueella, mikä helpottaakorkean{0}}tarkkuuden valmistusja estämään kuvion vääristymät{0}}monikerroksisessa logiikassa jaTeho-IC (IGBT/MOSFET)arkkitehtuurit.

Ennustettava tuotteen laatu:Meidän tiukkatarkkuusohjausyli reunan profilointi ja loven mitat takaavat saumattoman integroinnin automatisoituihin robottikäsittelyjärjestelmiin. Tämä mekaaninen luotettavuus suoraanparantaa lopputuotteen laatua, mikä johtaa johdonmukaisempaan sähköisten parametrien jakautumiseen ja mitattavissa olevaan nousuun kiekkojen -tason tuotossa (WLY) erilaisissa teollisuus- ja autoteollisuuden sovelluksissa.

Suositut Tagit: tarkkuuspiilevy, Kiinan tarkkuuspiilevyjen valmistajat, toimittajat, tehdas