Mitkä ovat piikiekkojen suunnat?

Mar 14, 2024

Puolijohteiden valmistuksessa piikiekot käyttävät usein 100 kiteen orientaatiota, koska 100 kiteen orientaatiolla on seuraavat edut ja sovellettavuus:
1. Peruskiderakenne: Piin kiderakenne on face-centered cubic (FCC), jossa (100) kideorientaatio on tiheimmin pakattu kidetaso. Tämä tarkoittaa, että piikiekkojen (100) kideorientaatiolla on suurempi hilarakenteen tasomaisuus ja hilaparametrien yhdenmukaisuus, mikä tekee niistä sopivampia käytettäväksi puolijohdelaitteiden substraattimateriaaleina.
2. Valmistusprosessin edut: (100) Kiteen suuntautuneilla piikiekoilla on etuja valmistusprosesseissa. Korkean pinnan tasaisuuden ansiosta etsaus, pinnoitus ja muut käsittelyprosessit voidaan suorittaa helpommin. Lisäksi (100) orientoituja piikiekkoja on helpompi käsitellä fysikaalisesti ja kemiallisesti, joten ne soveltuvat integroitujen piirien ja muiden puolijohdelaitteiden valmistukseen.
3. Kiteiden orientaation johdonmukaisuus: Piikiekkojen käyttäminen (100) kideorientaatiolla voi tehdä kiekoista johdonmukaisempia ja toistettavia valmistusprosessin aikana. Tämä on erittäin tärkeää laitteen suorituskyvyn johdonmukaisuuden ja valmistusprosessin ohjattavuuden varmistamiseksi.
4. Alustan käyttömukavuus: (100) orientoidulla piikiekolla on hyvä yhteensopivuus ja yhteensopivuus substraattimateriaalina. Se voidaan sovittaa yhteen monien yleisesti käytettyjen puolijohdemateriaalien ja pinottujen rakenteiden kanssa, mikä tekee siitä sopivamman erityyppisten puolijohdelaitteiden valmistukseen.

Saatat myös pitää